Princípio do sensor de pressão capacitiva

Sensor de pressão capacitiva é um tipo de sensor de pressão que usa capacitância como um elemento sensível para converter a pressão medida em uma mudança de valor de capacitância.Este tipo de sensor de pressão geralmente usa um filme de metal redondo ou filme banhado a ouro como eletrodo do capacitor, quando o filme sente a pressão e se deforma, a capacitância formada entre o filme e o eletrodo fixo muda e o sinal elétrico pode ser saída com uma certa relação entre a tensão através do circuito de medição.
O sensor de pressão capacitiva pertence ao sensor capacitivo de variação de distância polar, que pode ser dividido em sensor de pressão capacitiva simples e sensor de pressão capacitiva diferencial.
O sensor de pressão capacitivo único é composto por um filme circular e um eletrodo fixo.O filme se deforma sob a ação da pressão, alterando assim a capacidade do capacitor, e sua sensibilidade é aproximadamente proporcional à área e à pressão do filme e inversamente proporcional à tensão do filme e à distância do filme ao eletrodo fixo .O outro tipo de eletrodo fixo é de forma esférica côncava, e o diafragma é um plano de tensão fixado em torno da periferia.O diafragma pode ser feito pelo método de chapeamento de ouro plástico.Este tipo é adequado para medição de baixa pressão e possui alta capacidade de sobrecarga.Um único sensor de pressão capacitiva também pode ser feito de um diafragma com um pólo móvel de pistão para medir alta pressão.Este tipo reduz a área de compressão direta do diafragma para que um diafragma mais fino possa ser usado para melhorar a sensibilidade.Também é integrado com várias seções de compensação e proteção e circuitos de amplificação para melhorar a capacidade antiparasitária.Este sensor é adequado para medição dinâmica de alta pressão e telemetria de aeronaves.Os sensores de pressão capacitivos simples também estão disponíveis no tipo de microfone (ou seja, tipo de microfone) e tipo de estetoscópio.
O eletrodo do diafragma de pressão do sensor de pressão capacitiva diferencial está localizado entre dois eletrodos fixos para formar dois capacitores.Sob a ação da pressão, a capacidade de um capacitor aumenta e o outro diminui de acordo, e o resultado da medição é emitido por um circuito diferencial.Seu eletrodo fixo é feito de uma camada folheada a ouro sobre uma superfície côncava de vidro curvo.O diafragma é protegido contra ruptura pela superfície côncava durante sobrecarga.Os sensores de pressão capacitiva diferencial têm maior sensibilidade e melhor linearidade do que os sensores de pressão capacitiva simples, mas são mais difíceis de processar (especialmente para garantir a simetria) e não conseguem isolar o gás ou líquido a ser medido, portanto, não são adequados para trabalhar em fluidos com corrosivos ou impurezas.